采用一體疊層型壓電陶瓷結構,高溫燒結而成,結構簡單,工作可靠,疊層型壓電陶瓷高速偏擺鏡結構由電極層及壓電介質層經多次疊加共同燒結成一體,外形結構環形,電極壓部分位置相差 90 度,共四組電極結構,每組電極結構添加電場可獨立產生位移,每組電極構成一組壓電陶瓷,共組成四組疊堆壓電陶瓷,當四組壓電陶瓷同時產生位移時,臺面產生 Z 向位移,當相對兩支壓電陶瓷一支升高一支降低輸出臺面產生 X 軸偏擺,另兩支壓電陶瓷也同方式驅動,壓電陶瓷臺面也會產生 Y 軸偏擺,由于無機械結構,壓電陶瓷高速響應頻率高,擺速快,可工作在微秒級別擺角速度。
? 產品特點
響應頻率更高
體積小巧
可閉環控制
提供定制服務
? 技術參數
型號 | YG021003 | YG022612 |
輸出軸方向 | Rx.Ry.z | Rx.Ry.z |
驅動電壓范圍 | -20~+150V | -20~+150V |
Rx.Ry 軸擺角范圍 | ±0.1mrad±10% | ±0.5mrad±10% |
Z 向輸出位移 | 2.8μm±10% | 10μm±10% |
外形尺寸 | Ф10xФ3x3mm±10% | Ф26xФ12x12mm±10% |
靜態電容量 | 0.1μf±10% | 4μf±10% |
諧振頻率 | 120kHz | 65kHz |
使用溫度 | -60~130℃ | -60~130℃ |
居里溫度 | 230℃ | 230℃ |
? 注意事項
最大驅動電壓范圍:壓電陶瓷需在給定電壓內使用,超出負壓使用范圍壓電陶瓷會反向極化,影響位移輸出,超出正壓使用范圍會造成壓電陶 瓷損壞;
位移遲滯:在同一個電壓值下,上升曲線和下降曲線上的位移值有明顯的位移差,且這個位移差會隨著電壓變化范圍的改變而改變,驅動電壓 越小則位移差也會相應越小,壓電陶瓷的遲滯一般在給定電壓對應位移值的 10%~15% 左右;
輸出位移:電壓輸出 150V 時壓電陶瓷所產生的最大位移值;
居里溫度:陶瓷材料極化完成后所能承受最高溫度,超出給定溫度后,壓電陶瓷會失去壓電特性;
不同負載下測試數據會有波動
以上數據均在室溫下測量所得
環形陶瓷疊堆壓電陶瓷由一體單片燒結而成,紅色引線為正極,黑色引線為負極,驅動壓電陶瓷時切勿把正負極接反,接反會導致壓電陶瓷反 向極化,從而影響位移輸出
儲存溫度應小于 80℃,濕度應小于 50%