采用一體疊層型壓電陶瓷結構,高溫燒結而成,結構簡單,工作可靠,疊層型壓電陶瓷高速偏擺鏡結構由電極層及壓電介質層經多次疊加共同燒結成一體,外形結構環形,電極壓部分位置相差 90 度,共四組電極結構,每組電極結構添加電場可獨立產生位移,每組電極構成一組壓電陶瓷,共組成四組疊堆壓電陶瓷,當四組壓電陶瓷同時產生位移時,臺面產生 Z 向位移,當相對兩支壓電陶瓷一支升高一支降低輸出臺面產生 X 軸偏擺,另兩支壓電陶瓷也同方式驅動,壓電陶瓷臺面也會產生 Y 軸偏擺,由于無機械結構,壓電陶瓷高速響應頻率高,擺速快,可工作在微秒級別擺角速度。
產品特點
響應頻率更高
體積小巧
可閉環控制
提供定制服務
技術參數
型號 | YG021003 | YG022612 |
輸出軸方向 | Rx.Ry.z | Rx.Ry.z |
驅動電壓范圍 | -20~+150V | -20~+150V |
Rx.Ry 軸擺角范圍 | ±0.1mrad±10% | ±0.5mrad±10% |
Z 向輸出位移 | 2.8μm±10% | 10μm±10% |
外形尺寸 | Ф10xФ3x3mm±10% | Ф26xФ12x12mm±10% |
靜態電容量 | 0.1μf±10% | 4μf±10% |
諧振頻率 | 120kHz | 65kHz |
使用溫度 | -60~130℃ | -60~130℃ |
居里溫度 | 230℃ | 230℃ |
徐經理18995650972